4
線性馬達是光刻機運動平台的核心元件，負責以奈米精度高速驅動晶片載台與遮罩。隨著製程進入奈米時代，傳統旋轉馬達與傳動機構已無法滿足精密與速度需求，直接驅動、無機械損耗、響應迅速等優點使線性馬達成為唯一可行選擇。然而，高端光刻機對線性馬達的技術門檻極高，中國過去一直仰賴進口。
自主核心技術過關，光刻機國產化再深化
近日，中國河南東方材料（Oriental Materials）自行研發的線性馬達、光源、光纖與磁性支架等光刻關鍵零組件，全面通過了中芯國際（SMIC）的嚴格認證。Oriental Materials 成立於2018年，致力於成為高端 IC 製造材料與設備的一站式平台，業務涵蓋核心材料、設備與關鍵組件，包括濺鍍靶、反應室等半導體零件。今年3月，該公司成功出貨6台12吋晶圓製造機給業界領先者，顯示其技術端已具備一定實力。同時，公司擬斥資15億元人民幣在重慶設立半導體設備生產基地與先進記憶體晶片研究所，預計於2025年動工，2026年投產，首年目標年產值達2億元人民幣，至2029年擴至12億元水平。
Oriental Materials此舉不僅象徵中國半導體設備逐步擺脫依賴，更是國產化進程的重要里程碑。在中芯國際這類高標準客戶背書下，其技術能力與市場可信度將大幅提升。然而，從通過認證到實現量產穩定仍需過關斬將，能否在精度與良率上與ASML等國際巨擘對標，並通過政策、市場雙重考驗，才是真正關鍵所在。（原文出處）
延伸閱讀
