三星正加速美國德州 Taylor 晶圓廠的量產準備，市場傳出，極紫外光（EUV）曝光設備最快將於 3 月展開試產，顯示該廠已從建置期正式邁向實質運轉。這不只是單一產線的啟動，而是三星在先進製程、地緣布局與供應鏈策略上的關鍵交會點。隨著美國先進製造政策持續推進，Taylor 廠被視為三星重返先進製程競爭力的重要支點。
EUV薄膜在地化，三星走出不同路徑
根據韓媒 ETNews 報導，三星電子 已向南韓設備商 FST 下單約 250 億韓元，採購用於美國廠區的 EUV 薄膜（pellicle）搬運設備，象徵三星正式在海外據點導入「韓國自製」的 EUV 薄膜解決方案。這一步，不只是設備採購，更是技術主權與供應鏈掌控力的延伸。
對照之下，晶圓代工龍頭 台積電 早在 2019 年便導入日本 三井化學 的金屬矽化物（MeSi）EUV 薄膜，選擇的是成熟、可量產的外部供應體系；三星則走上另一條路，於 2020、2021 年分別投資 S&S Tech 與 FST，選擇以「技術內化」與「供應鏈在地化」作為長期策略。兩者路線不同，反映的正是對地緣政治、供應風險與長期成本結構的不同判斷。
目前三星已部署超過 70 台 EUV 曝光設備，是全球僅次於台積電的第二大 EUV 用戶。在這樣的規模下，一旦自製 EUV 薄膜正式導入量產，其外溢效應將不只限於單一材料，而是牽動整個設備、材料與零組件生態系。業界估算，一片 EUV 薄膜單價超過 6,000 萬韓元，遠高於傳統 ArF、KrF 等 DUV 薄膜僅數十萬至百萬韓元的水準，價值密度與戰略意義完全不同。
值得注意的是，FST 所供應的設備不僅支援既有的金屬矽化物 EUV 薄膜，也涵蓋次世代碳奈米管（CNT）EUV 薄膜。這意味著，三星並非只為眼前製程做準備，而是試圖提前卡位下一代 EUV 材料競賽。當先進製程的競爭已不只比線寬，而是比誰能掌控關鍵材料與設備，三星這一步，正在悄悄重塑未來幾年的產業版圖。（原文出處）
