韓國領先的半導體設備製造商 Semes 於本月7日正式宣布，成功開發出一款用於先進光微影製程（Photolithography）的次世代氟化氪（KrF）光阻旋塗機，命名為 Omega Prime。這一突破性成果不僅通過了高標準的品質測試，也代表Semes已正式進軍由日本T公司長期主導、占據逾90%市場的高度專業化領域。
Omega Prime的問世，象徵著韓國在半導體設備自主研發上邁出關鍵一步，為全球供應鏈多元化注入新活力。這對於當前半導體市場中日益關注供應穩定性與技術主權的國家而言，意義非凡。
半導體製程再進化：Omega Prime提升效率與精度
在半導體製造中，光微影製程扮演關鍵角色，而旋塗機則是該流程中不可或缺的核心設備之一。它的任務是將一層均勻的光阻劑（Photoresist）塗佈於晶圓表面，為後續的曝光與蝕刻程序打下基礎。若旋塗精度不佳，將直接影響線寬一致性與晶片良率，進而衝擊整體製造效能與成本。
Semes研發的Omega Prime不僅提升了每小時晶圓處理量逾20%，更搭載先進的自動校準系統與製程變異控制技術，有效提升製程穩定性與操作靈活度。此外，該設備亦支援目前愈趨重要的Word Line Pad（WLPAD）製程，大幅拓寬其實際應用範圍，提升整體製造彈性。
對於目前高度仰賴單一供應來源的市場而言，Semes的Omega Prime不僅是韓國本土設備自主化的重要里程碑，也為全球半導體製造商提供了具競爭力的替代方案。未來，若其能持續優化性能與擴大產能，勢必將對既有市場格局帶來實質衝擊。
Semes執行長沈相弼（Shim Sang-pil）也表示，該公司將持續加碼投資先進製程設備研發，強化自主技術力量，並進一步拓展海外市場，為韓國在全球半導體設備供應鏈中贏得更高份額。
在全球半導體產業加速重組與科技脫鉤風潮下，Omega Prime的問世可謂為韓國半導體自主戰略打下強心針，也預示未來的關鍵設備競爭將更加白熱化。（原文出處）
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